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Electromagnetic gas

FRD is a company specialized in manufacturing specialty gas for semiconductors and displays.

Xe 제논

설명
화학 원소이며, 화학 기호는 Xe, 원자 번호는 54이며, 무색의 귀금속 기체이며, 방출 시에는 밝은 흰색입니다.
용도
제논은 반도체 패턴을 형성한 후 불필요한 부분을 깎아내는 에칭 가스로 쓰인다. 128단 V낸드 등 적층시 구멍을 뚫을 때도 사용하며 다른 용도로는 의료용 마취제로도 사용되는 희귀가스다
순도
99.999%
CAS
7440-63-3
패키지
47L, 50L 실린더
Product details

ProductSpecification
PurityPackageValveFilling Quantity
Xe99.9999%47L, 50LCGA5809m3, 10m3

ContaminantsSpecifications
H2O≤1.0 ppm
CO2≤1.0 ppm
Kr≤1.0 ppm
Ar≤1.0 ppm
H2≤1.0 ppm
N2≤1.0 ppm
C2F6≤0.5 ppm
O2≤0.5 ppm
CnHm≤0.1 ppm
CF4≤0.1 ppm
SF6≤0.1 ppm

관리자 관리자 · 2023-12-04 16:59 · Views 835