탄소 원자 하나에 산소 원자 둘이 결합한 화합물이다. 화학식은 CO2 (씨오투)이며, 고체 상태일 때는 해빙 시에 바로 기체로 승화하므로 드라이아이스(영어: dry ice)라고 부른다. 기체 상태일 때는 무색, 무취, 무미로 지구의 대기에도 존재하며, 화산 가스에도 포함되어 있다

CO2(이산화탄소)는 반도체 제조공정 중 Cleaning 및 Photo Immersion 공정에 사용되는 가스로, 순도 99.999%, 99.95%이다. 고순도 CO2 (99.999%)는 Chemical bubble 또는 O3 발생용으로 사용되나, 저순도 CO2 (99.95%)는 Device 미세화에 따른 공정 개선 목적으로 Wafer Cleaning 공정에 사용되며, Photo Immersion 공정에도 사용되는 가스이다.

99.999%

124-38-9

47L 실린더