NH3 암모니아

설명

암모니아는 질소와 수소로 이루어진 화합물로 끓는점이 약 -33도이므로 실온에서 기체 상태로 존재한다. 특유의 자극적인 냄새가 나며 무색이다. 대기 중에 소량이 존재하며, 천연수에도 미량 함유되어 있다.

용도

암모니아(NH 3)는 반도체 제조에 있어서 중요한 공정 화학 약품이다. 암모니아는 실리콘 질화물의 분해에 흔히 사용되며, 질산화 또는 다른 질화물의 분해에도 사용될 수 있다. 암모니아(수산화암모늄의 형태임)는 표준 RCA 세정의 염기 세정 부분으로 널리 사용되기도 한다.

순도

99.99999%

CAS

7664-41-7

패키지

47L 실린더, Y-Cylinder

Product details

Product	Specification
Product	Purity	Package	Valve	Filling Quantity
NH3	99.99999%	47L	DISS720/CGA660	23kg
NH3	99.99999%	440L	DISS720	230kg

Contaminants	Specifications
H2	≤0.10 ppm
O2+Ar	≤0.10 ppm
Co	≤0.05 ppm
CO2	≤0.10 ppm
C1~C3	≤0.05 ppm
H2O	≤0.20 ppm
Sb	≤0.01 ppm
Cd	≤0.01 ppm
Ca	≤0.01 ppm
Cr	≤0.01 ppm
Co	≤0.01 ppm
Cu	≤0.01 ppm
Ga	≤0.001 ppm

관리자 · 2023-12-04 17:08 · Views 2309

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