메탄은 가장 단순한 유기물이며 탄소 함량이 가장 적은(수소 함량이 가장 큰) 탄화수소입니다. 메탄은 자연계에 널리 분포되어 있으며 일반적으로 가스로 알려진 천연가스, 바이오가스, 피트가스 등의 주성분이다.

METAL을 ETCH(식각)하는 공정에서 CH4 (메탄) 가스는 주로 탄소 중립화 역할을 수행합니다. METAL ETCH 공정에서는 주로 클로린 메탈(예: 알루미늄, 구리 등)을 식각하는데 사용되며, 이때 METAL 표면에 형성된 산화물 또는 기타 불순물을 제거하기 위해 CH4 가스를 사용합니다.

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74-82-8

47L 실린더