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특허증 제논 및 크립톤 분리 방법2023.11.22
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특허증 제논 고순도화 장치2023.11.22
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특허증 삼불화붕소 수득 장치2023.11.22
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특허증 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤2023.11.22
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특허증 반도체 공정용 크립톤의 고순도 가스화 장치2023.11.22
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특허증 디보란 합성 및 정제 장치2023.11.22
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특허증 팩 전용 마스크2023.11.22
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특허증 토크 가변식 정밀 제어 렌치2023.11.22
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특허증 제논 및 크립톤 분리 장치2023.11.22
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특허증 반도체 제조장비용 세라믹 히터의 단자 결합 구조2023.11.22
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특허증 반도체 장비 셋업 보조 구조물2023.11.22
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특허증 고순도 삼불화붕소 제조장치2023.11.22