특허권

특허증 제논 및 크립톤 분리 방법

특허증 제논 고순도화 장치

특허증 삼불화붕소 수득 장치

특허증 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤

특허증 반도체 공정용 크립톤의 고순도 가스화 장치

특허증 디보란 합성 및 정제 장치

특허증 팩 전용 마스크

특허증 토크 가변식 정밀 제어 렌치

특허증 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재 및 상기 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재를 포함하는 제논 및 크립톤 정제장치

특허증 제논 및 크립톤 분리 장치

특허증 반도체 제조장비용 세라믹 히터의 단자 결합 구조

특허증 반도체 장비 셋업 보조 구조물

특허증 고순도 삼불화붕소 제조장치