대전방지소재

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특수가스 동위원소 프리커서 대전방지소재 온라인문의

대전방지소재

반도체 및 기타 대전방지용 복합 소재

PTFE(테프론) – CNT(탄소나노튜브) 복합 소재 : 각 소재의 장점을 극대화

PTFE

내화학성

높은 내열성

높은 내마모성

★전기절연성

CNT

★전기전도성

개발소재

내화학성

내열성

내마모성

★전기전도성

특허 등록 6건 외

정전기로 인한 피해_반도체 공정 ESD Issue

  • Wet cleaning 공정 중, 정전기로 인한 defect(ESD) 발생 현상
  • ESD는 다양한 케미칼에서 발생이 되며, 최근 SC1, IPA 등의 케미칼에서 큰 문제가 발생
  • BHF, SPM는 ESD발생 확률이 더 높은 케미칼로 정전기 방지에 대한 대책이 필수적으로 필요

BOWL

CHCUCK

NOZZLE

  • 당사는 원료 / 제품 등 다양한 형태로 공급이 가능함(고객이 원하는 Size로 가공 납품도 가능)
  • 노즐 및 기타 부품 또한 가공을 통해 기존 사용하는 소모품에 맞춰서 가공 납품 가능