N2O 아산화질소

설명

이 기체를 흡입하면 얼굴 근육에 경련이 일어나 마치 웃는 것처럼 보여, 소기(笑氣), 웃음 가스(laughing gas)라고도 한다.
반도체, LCD 및 OLED 제조공정에서 모노실란(SiH4)과 결합하여 실리콘옥사이드 (SiO2)의 산화막을 증착 시키는데 사용되는 가스 입니다.
전자산업의 용도 이외에 저순도 N2O는 의료용 마취제로도 사용 됩니다.

용도

반도체/PECVD

순도

99.9995%

CAS

10024-97-2

패키지

실린더, ISO TANK, MEGC

제품 상세정보

Product	Specification
Product	Purity	Package	Valve	Filling Quantity
N2O	5N	47L	22R	27KG

Contaminants	Specifications
H2O	≤1.0 ppm
H2	≤0.1 ppm
O2	≤0.5 ppm
N2	≤1.0 ppm
CH4	≤0.1 ppm
CO	≤0.1 ppm
CO2	≤0.1 ppm

관리자 · 2023-06-27 15:38 · 조회 207

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