특수가스

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에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.

D2 중수소

설명
중수소(重水素)는 수소의 동위 원소 중 하나로 2H 또는 D(Deuterium)로 표기한다. 삼중수소와 구별하기 위해 이중수소(二重水素)라고 부르기도 한다.
용도
중수소는 일반 수소의 더 무거운 안정 동위 원소입니다. 무색, 무취, 무독성 가연성 가스입니다. 반도체, 태양 전지 및 기타 전자 산업에서 실리콘 소결 또는 어닐링 공정에 사용됩니다.
순도
99.999%
CAS
7782-39-0
패키지
47L 실린더
제품 상세정보


ProductSpecification
PurityPackageValveFilling Quantity
D25N47LCGA3506m3

ContaminantsSpecifications
Oxygen≤2.0 ppmv
Moisture≤0.2 ppmv
Nitrogen≤5.0 ppmv
Carbon Monoxide≤1.0 ppmv
Carbon Dioxide
TOC
Hydrogen≤100 ppmv
Deuterium Hydride≤100 ppmv

관리자 관리자 · 2023-11-09 15:22 · 조회 228