특수가스
홈 > 사업소개 > 특수가스
특수가스
에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.
NF3 삼불화질소
제품 상세정보
| Product | Specification | |||
| Purity | Package | Valve | Filling Quantity | |
| NF3 | 4N | 47L | 22R | 20KG |
| Contaminants | Specifications |
| H2O | ≤2.0 ppmv |
| Acidity | ≤1.0 ppmv |
| N2 | ≤10.0 ppmv |
| O2 | ≤5.0 ppmv |
| CF4 | ≤40.0 ppmv |
| SF6 | ≤10.0 ppmv |
| CO | ≤5.0 ppmv |
| CO2 | ≤5.0 ppmv |
관리자
·
2023-11-09 17:03
·
조회 200