특수가스
홈 > 사업소개 > 특수가스
특수가스
에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.
Xe 제논
제품 상세정보
| Product | Specification | |||
| Purity | Package | Valve | Filling Quantity | |
| Xe | 99.9999% | 47L, 50L | CGA580 | 9m3, 10m3 |
| Contaminants | Specifications |
| H2O | ≤1.0 ppm |
| CO2 | ≤1.0 ppm |
| Kr | ≤1.0 ppm |
| Ar | ≤1.0 ppm |
| H2 | ≤1.0 ppm |
| N2 | ≤1.0 ppm |
| C2F6 | ≤0.5 ppm |
| O2 | ≤0.5 ppm |
| CnHm | ≤0.1 ppm |
| CF4 | ≤0.1 ppm |
| SF6 | ≤0.1 ppm |
관리자
·
2023-11-09 17:09
·
조회 222