특수가스

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에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.

Kr 크립톤

설명
크립톤은 무색, 무취, 무미의 비활성 기체로 대기중에 미량이 존재하며, 액체 공기를 분별 증류하여 얻는다
용도
크립톤 가스는 반도체 메탈 공정에서 사용하는데 주로 텅스턴 CVD(화학기상증착) 공정에 사용되는 것으로 알려져 있으며, 제논(크세톤)은 반도체 패턴을 형성한 후 불필요한 부분을 깎아내는 에칭 가스로 쓰인다.
순도
99.999%
CAS
7439-90-9
패키지
47L
제품 상세정보


ProductSpecification
PurityPackageValveFilling Quantity
Kr99.999%47L, 50LCGA5809m3, 10m3

ContaminantsSpecifications
N2≤5.0 ppm
Xe≤3.0 ppm
H2O≤3.0 ppm
Ar≤2.0 ppm
CH4≤1.0 ppm
O2≤1.0 ppm
H2≤1.0 ppm

관리자 관리자 · 2023-11-09 17:11 · 조회 271