특수가스

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에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.

PH3 포스핀

설명
포스핀 가스는 무색이고 독성이 강하며 비린내가 납니다. 실린더에 저장된 무색, 독성, 인화성이 높은 액화 압축 가스입니다.
용도
포스핀은 반도체 도핑에 쓰는 도펀트로 쓰인다. 또한 일부 화합물 반도체를 석출하는 과정에서 쓰이는데, 이에는 인화 갈륨과 인화 인듐등이 있다
순도
99.9999%
CAS
7803-51-2
패키지
47L 실린더
제품 상세정보

ProductSpecification
PurityPackageValveFilling Quantity
PH399.9999%47LDISS63218KG

ContaminantsSpecifications
AsH3≤0.1 ppm
N2≤1.0 ppm
O2+Ar≤0.5 ppm
CO≤0.5 ppm
CO2≤0.5 ppm
THC≤0.2 ppm
H2O≤0.1 ppm

관리자 관리자 · 2023-11-09 17:16 · 조회 210