특수가스

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특수가스

에프알디는 반도체, Solar, 디스플레이, LED용 특수가스 제조에 특화된 기업 입니다.

AsH3 아르신

설명
아르신 가스는 가장 단순한 비소 화합물로 무색, 독성, 인화성 가스입니다. 표준 조건에서 AsH3는 무색, 공기보다 밀도가 높으며, 물(200 mL/L) 및 다양한 유기 용매에 용해됩니다
용도
반도체 이온주입 공정에 이용
순도
99.9999%
CAS
7784-42-1
패키지
47L 실린더
제품 상세정보


ProductSpecification
PurityPackageValveFilling Quantity
AsH399.9999%47LDISS63227KG

ContaminantsSpecifications
O2+Ar≤1.0 ppm
N2≤3.0 ppm
CO2≤1.0 ppm
CO≤1.0 ppm
CH4≤1.0 ppm
H2O≤3.0 ppm
PH3≤0.5 ppm

관리자 관리자 · 2023-11-09 17:19 · 조회 226