CH4 메탄

설명

메탄은 가장 단순한 유기물이며 탄소 함량이 가장 적은(수소 함량이 가장 큰) 탄화수소입니다. 메탄은 자연계에 널리 분포되어 있으며 일반적으로 가스로 알려진 천연가스, 바이오가스, 피트가스 등의 주성분이다.

용도

METAL을 ETCH(식각)하는 공정에서 CH4 (메탄) 가스는 주로 탄소 중립화 역할을 수행합니다. METAL ETCH 공정에서는 주로 클로린 메탈(예: 알루미늄, 구리 등)을 식각하는데 사용되며, 이때 METAL 표면에 형성된 산화물 또는 기타 불순물을 제거하기 위해 CH4 가스를 사용합니다.

순도

99.999%

CAS

74-82-8

패키지

47L 실린더

제품 상세정보

Product	Specification
Product	Purity	Package	Valve	Filling Quantity
CH4	99.999%	47L	CGA350	8m3

Contaminants	Specifications
N2	≤4.0 ppm
C2H6	≤4.0 ppm
O2 + Ar	≤4.0 ppm
Co2	≤0.5 ppm
H2	≤0.5 ppm
H2S	≤0.1 ppm
H2O	≤3.0 ppm

관리자 · 2023-11-09 17:54 · 조회 278

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