엑시머(excimer)란 바닥상태(기저상태)에서는 결합하지 않고 들뜬 상태에서 결합하는 화학종을 의미합니다. 여기에는 동일한 원소가 이합체로 결합한 엑시머 (excimer) 예) F2, Ar2, Kr2, Xe2 와 서로 다른 이종원소가 헤테로이합체로 결합한 엑시플렉스(exciplex) 예)ArF, ArCl, KrF, XeCl 이 있습니다. 이를 구분없이 통틀어 엑시머라고 합니다.